若名芯
若名芯半導(dǎo)體科技(蘇州)有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息3
專利信息26
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種CMP后清洗裝置及其清洗方法 | 發(fā)明專利 | CN201910729449.4 | CN110517975B | 2022-02-22 |
| 2 | 一種具有自動切換清洗工具功能的晶圓片清洗機(jī)構(gòu) | 實用新型 | CN202120254679.2 | CN215391087U | 2022-01-04 |
| 3 | 一種用于晶圓的超聲波清洗設(shè)備 | 實用新型 | CN202023254842.X | CN215142797U | 2021-12-14 |
| 4 | 一種硅片用超聲波清洗機(jī)構(gòu) | 實用新型 | CN202022266861.8 | CN214600733U | 2021-11-05 |
| 5 | 一種晶圓用高溫藥液清洗設(shè)備 | 實用新型 | CN202022977996.5 | CN213845234U | 2021-07-30 |
| 6 | 一種半導(dǎo)體硅片用清洗裝置 | 實用新型 | CN202022278024.7 | CN213826091U | 2021-07-30 |
| 7 | 一種晶元用預(yù)清洗機(jī)構(gòu) | 實用新型 | CN202021208850.8 | CN213103379U | 2021-05-04 |
| 8 | 一種CMP后清洗用晶圓夾持裝置 | 實用新型 | CN202021602402.6 | CN213093187U | 2021-04-30 |
| 9 | 一種晶圓CMP后清洗的搬送方法 | 發(fā)明專利 | CN202011446726.X | CN112635374A | 2021-04-09 |
| 10 | 一種晶圓用高溫藥液清洗設(shè)備及其清洗工藝 | 發(fā)明專利 | CN202011448759.8 | CN112614794A | 2021-04-06 |
軟件著作權(quán)4
| 序號 | 軟件名稱 | 軟件簡稱 | 版本號 | 登記號 | 分類號 | 首次發(fā)表日期 | 登記批準(zhǔn)日期 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | RUNSEMI Wet Cluster SPIN控制軟件 | - | V1.0 | 2020SR0692058 | - | - | 2020-06-29 |
| 2 | RUNSEMI DRY Cluster SPIN控制軟件 | - | V1.0 | 2020SR0691827 | - | - | 2020-06-29 |
| 3 | 半導(dǎo)體硅片單片清洗機(jī)SPIN單元PLC控制軟件 | - | V1.0 | 2020SR0047257 | - | - | 2020-01-09 |
| 4 | 半導(dǎo)體硅片單片清洗機(jī)Main單元PLC控制軟件 | - | V1.0 | 2020SR0047256 | - | - | 2020-01-09 |
作品著作權(quán)0
暫無作品著作權(quán)
網(wǎng)站備案0

暫無網(wǎng)站備案
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