一種用于晶圓的超聲波清洗設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023254842.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215142797U 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215142797U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 余濤;樸靈緒;郭巍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 若名芯半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州銘浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱斌兵
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)4棟101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一直用于晶圓的超聲波清洗設(shè)備，包括清洗箱，清洗箱內(nèi)具有容納腔，且容納腔內(nèi)設(shè)有晶圓放置盒；晶圓放置盒的一側(cè)設(shè)有導(dǎo)液管；超聲波設(shè)備設(shè)于所述晶圓放置盒一側(cè)，還包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)設(shè)于晶圓放置盒上，用于將晶圓放置盒旋轉(zhuǎn)；兩個(gè)微調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)于清洗箱的兩側(cè)外壁上，用于對(duì)晶圓放置盒的水平位置進(jìn)行調(diào)整；水平傳感器設(shè)于晶圓放置盒的上端，用于感應(yīng)晶圓放置盒的位置，并驅(qū)動(dòng)微調(diào)機(jī)構(gòu)使晶圓放置盒水平放置，本實(shí)用新型通過兩側(cè)的氣缸以及水平傳感器確保晶圓放置盒內(nèi)的晶圓一直處于水平位置，這樣超聲波設(shè)備能夠有效快速的對(duì)晶圓進(jìn)行清洗，而不會(huì)有清洗的死角存在，提升了晶圓的清洗效率，具有較好的實(shí)用性。