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    • 卓銳微

    北京卓銳微技術(shù)有限公司

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    1 MEMS結(jié)構(gòu)的制造方法 發(fā)明專利 CN201510686572.4 CN106608614B 2022-03-04
    2 一種硅電容麥克風(fēng)的電氣連線結(jié)構(gòu)及其電氣連線方法 發(fā)明專利 CN201510092043.1 CN105992115B 2021-09-21
    3 一種應(yīng)用柔性背極的硅電容麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201510242784.3 CN104853300B 2021-05-28
    4 一種硅電容麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201410666070.0 CN105681990B 2019-09-10
    5 一種硅電容式麥克風(fēng)及其制備方法 發(fā)明專利 CN201410078845.2 CN104902410B 2019-09-03
    6 MEMS器件檢測(cè)方法 發(fā)明專利 CN201510925570.6 CN106872816B 2019-06-04
    7 一種自校準(zhǔn)硅麥克風(fēng)裝置和校準(zhǔn)方法 發(fā)明專利 CN201410490133.1 CN105491492B 2019-04-26
    8 一種硅電容麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201410782518.5 CN105764017B 2019-01-29
    9 一種硅電容麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201410681739.3 CN105611474B 2019-01-29
    10 一種兩線硅麥克風(fēng)放大器 發(fā)明專利 CN201410384007.8 CN105450191B 2019-01-29

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