MEMS器件檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510925570.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106872816B 公開(kāi)（公告）日 2019-06-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN106872816B 申請(qǐng)公布日 2019-06-04
分類(lèi)號(hào) G01R31/00（2006.01）I; G01R27/26（2006.01）I; B81C99/00（2010.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳志翔; 朱佳輝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京卓銳微技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 山東共達(dá)電聲股份有限公司
地址 261000 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開(kāi)了一種MEMS器件檢測(cè)方法，所述MEMS器件由膜片和背板形成，所述方法包括：向所述MEMS器件的膜片和背板施加以第一頻率變化的輸入電壓；檢測(cè)所述MEMS器件的輸出電壓；根據(jù)如下公式獲取與之對(duì)應(yīng)的靜電力；根據(jù)所述靜電力和輸出電壓獲取所述MEMS器件的檢測(cè)參數(shù)。本發(fā)明的MEMS器件檢測(cè)方法通過(guò)施加連續(xù)變化的電壓模擬真實(shí)的MEMS麥克風(fēng)來(lái)測(cè)試MEMS特性，提高了MEMS檢測(cè)參數(shù)的準(zhǔn)確度，省去了記錄大量測(cè)試點(diǎn)的繁瑣工作，提高了測(cè)試效率。