一種應用柔性背極的硅電容麥克風

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510242784.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104853300B 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN104853300B 申請公布日 2021-05-28
分類號 H04R19/04(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 萬蔡辛;楊少軍 申請（專利權）人 北京卓銳微技術有限公司
代理機構 深圳市沈合專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 沈祖鋒
地址 261206 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種用于應用柔性背極的硅電容麥克風，包括基底、振膜和柔性背極，所述柔性背極與所述振膜形成可變電容，其中，所述柔性背極因殘余應力導致的翹曲小于或等于20微米，所述柔性背極上設置有波紋或加強筋，并且所述柔性背極上還設置有開孔或開槽。在現(xiàn)有工藝水平下，硅電容麥克風的靈敏度、線性度、信噪比、敏感電容、動態(tài)響應等性能指標和產品環(huán)境適應性，由于應用本發(fā)明的設計手段而得以提高。??