一種硅電容式麥克風及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410078845.2 申請日 -
公開（公告）號 CN104902410B 公開（公告）日 2019-09-03
申請公布號 CN104902410B 申請公布日 2019-09-03
分類號 H04R19/04;H04R31/00 分類 電通信技術;
發(fā)明人 萬蔡辛;楊少軍;蔡鬧鬧 申請（專利權）人 北京卓銳微技術有限公司
代理機構 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權代理有限責任公司 代理人 山東共達電聲股份有限公司
地址 261206 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種使用柔性背極的硅電容式麥克風，背極與振膜形成相對的可動結構，即可變電容。使用柔性背極可以自由的定義背極和振膜，從而提供了更大的設計空間；根據(jù)振膜和背極的剛度分布情況及敏感運動振型需要，可在振膜和背極之間設置一個或多個不導電的連接振膜和背極的中部連接，從而允許制備更大尺寸的振膜；通過中部連接將振膜分成相對獨立的幾個部分，從而提供額外的可靠性；將中部連接做成支撐還可以將振膜做成各種形狀；振膜和背極上都可以設置褶皺。本發(fā)明在兼容現(xiàn)有通用制備工藝水平的前提下，通過優(yōu)化結構尺寸和振膜與背極的振型，提高了硅電容式麥克風的靈敏度、線性度、信噪比等性能指標，以及可靠性、環(huán)境適應性等工程指標。