一種自校準(zhǔn)硅麥克風(fēng)裝置和校準(zhǔn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410490133.1 申請日 -
公開（公告）號 CN105491492B 公開（公告）日 2019-04-26
申請公布號 CN105491492B 申請公布日 2019-04-26
分類號 H04R19/04（2006.01）I; H04R29/00（2006.01）I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 孫麗娜; 楊少軍 申請（專利權(quán)）人 北京卓銳微技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 山東共達(dá)電聲股份有限公司
地址 261206 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種自校準(zhǔn)硅麥克風(fēng)裝置和校準(zhǔn)方法，該自校準(zhǔn)方法包括：將一校準(zhǔn)正弦電壓施加在MEMS器件的偏置端，同時控制電荷泵輸出電壓即MEMS器件偏置端的直流電壓V1等于0，此時檢測到放大器的輸出信號幅度為OUT1；控制電荷泵的輸出電壓為V2，其中V2大于0且小于MEMS器件的吸合電壓值一定范圍，此時檢測得到放大器的輸出信號幅度為OUT2；根據(jù)OUT1和OUT2計算得出MEMS器件的最優(yōu)工作電壓Vop；控制電荷泵的輸出電壓為Vop，同時關(guān)閉校準(zhǔn)正弦電壓，此時給入麥克風(fēng)標(biāo)準(zhǔn)聲音信號，得到放大器的輸出信號幅度OUT3；比較OUT3和目標(biāo)靈敏度之間的差值，并根據(jù)該差值調(diào)整放大器的增益，使得麥克風(fēng)的靈敏度達(dá)到目標(biāo)值。