一種硅電容麥克風(fēng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410666070.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105681990B 公開(kāi)（公告）日 2019-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN105681990B 申請(qǐng)公布日 2019-09-10
分類(lèi)號(hào) H04R19/04 分類(lèi) 電通信技術(shù);
發(fā)明人 萬(wàn)蔡辛;楊少軍 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北京卓銳微技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 代理人 共達(dá)電聲股份有限公司;深圳市共達(dá)電聲科技有限公司
地址 261200 山東省濰坊市坊子區(qū)鳳山路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種硅電容麥克風(fēng)，包括基板、振膜和背極，所述基板上設(shè)有一個(gè)聲腔；所述振膜位于所述聲腔上部，被聲壓波激發(fā)時(shí)產(chǎn)生機(jī)械振動(dòng)；所述背極與所述振膜之間設(shè)置有固定的氣隙，所述振膜、所述背極與所述氣隙共同形成電容器；其中，還包括固定連接在所述振膜和所述背極之間的一個(gè)或多個(gè)絕緣的中部連接，所述一個(gè)或多個(gè)絕緣的中部連接將所述振膜分為多個(gè)振膜單元；且所述背極由柔性材料構(gòu)成。本發(fā)明能在現(xiàn)有工藝水平下，提高硅電容麥克風(fēng)的靈敏度、線性度、信噪比、敏感電容、動(dòng)態(tài)響應(yīng)等指標(biāo)，拓寬產(chǎn)品的應(yīng)用場(chǎng)合，增加產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。