芯笙微納
商標信息2
專利信息11
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種MEMS壓電芯片及MEMS器件 | 發(fā)明專利 | CN202110737587.4 | CN113460949A | 2021-10-01 |
| 2 | 一種基于MEMS質(zhì)量流量傳感器的氫氣檢測裝置 | 實用新型 | CN202120518959.X | CN214251127U | 2021-09-21 |
| 3 | 一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法 | 發(fā)明專利 | CN202110356196.8 | CN113190050A | 2021-07-30 |
| 4 | 一種MEMS質(zhì)量流量控制器及控制方法 | 發(fā)明專利 | CN202110356195.3 | CN113157008A | 2021-07-23 |
| 5 | 一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器 | 發(fā)明專利 | CN202110316886.0 | CN113049634A | 2021-06-29 |
| 6 | 一種高性能MEMS流量傳感器及其制備方法 | 發(fā)明專利 | CN202110275554.2 | CN113049053A | 2021-06-29 |
| 7 | 一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法 | 發(fā)明專利 | CN202110268751.1 | CN113029265A | 2021-06-25 |
| 8 | 一種高靈敏度的MEMS流量傳感器及其制作方法 | 發(fā)明專利 | CN202110266953.2 | CN113029264A | 2021-06-25 |
| 9 | 一種多孔硅絕熱支撐的高溫熱流傳感器及其制備方法 | 發(fā)明專利 | CN202110119811.3 | CN112938892A | 2021-06-11 |
| 10 | 一種高靈敏度MEMS流量傳感器芯片 | 發(fā)明專利 | CN202010979042.X | CN112146717A | 2020-12-29 |
軟件著作權(quán)0
暫無軟件著作權(quán)
作品著作權(quán)0
暫無作品著作權(quán)
網(wǎng)站備案2

| 序號 | 網(wǎng)站名 | 網(wǎng)址 | 備案號 | 主辦單位性質(zhì) | 審核日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 青島芯笙微納電子科技有限公司 | www.xinnovis.cn | 魯ICP備2021004998號 | 企業(yè) | 2021-02-07 |
| 2 | 青島芯笙微納電子科技有限公司 | www.xinnovis.cn | 魯ICP備2021004998號 | 企業(yè) | 2021-02-07 |
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