一種高靈敏度的MEMS流量傳感器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110266953.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113029264A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113029264A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高靈敏度的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設(shè)有隔熱腔體，由襯底的上表面或下表面向內(nèi)凹入形成；第一、第二介質(zhì)層，依次形成于襯底的上表面，且第一、第二介質(zhì)層在隔熱腔體上方向上彎曲；加熱元件及感溫元件，形成于第二介質(zhì)層的上表面；絕緣層，覆蓋加熱元件及感溫元件，且局部刻蝕出接觸孔；金屬層，形成于絕緣層上，部分金屬層通過接觸孔與加熱元件及感溫元件連接。本發(fā)明通過在第一、第二介質(zhì)層上預(yù)加壓應(yīng)力，使其在隔熱腔體釋放后發(fā)生形變，形成彎曲狀的懸浮膜，以此來實(shí)現(xiàn)加強(qiáng)對流效果、提高換熱效率的目的，從而增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件的靈敏度。