一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110316886.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113049634A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113049634A 申請公布日 2021-06-29
分類號 G01N25/22;G01N25/48;G01J5/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 胡國慶;田偉 申請（專利權(quán)）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機構(gòu) 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于熱效應(yīng)的微型氣體傳感器，包括由第一PCB、第二PCB和支撐體構(gòu)成的腔體，所述腔體內(nèi)位于第一PCB上設(shè)置紅外探測器，所述腔體內(nèi)位于第二PCB上設(shè)置微加熱器，所述紅外探測器與微加熱器相對設(shè)置，且分別電連接到第一PCB和第二PCB上；所述微加熱器上方設(shè)置氣體敏感膜；所述支撐體上開設(shè)有進氣口和出氣口；所述紅外探測器和微加熱器均采用MEMS工藝制作而成。本發(fā)明所公開的微型氣體傳感器具有體積小、成本低、制備簡單、容易批量生產(chǎn)等優(yōu)勢，在氣體敏感膜吸附氣體分子并發(fā)生反應(yīng)后，可通過紅外探測器檢測氣體敏感膜表面的溫度變化，實現(xiàn)更快的響應(yīng)速度。