一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202110268751.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113029265A | 公開（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請公布號(hào) | CN113029265A | 申請公布日 | 2021-06-25 |
| 分類號(hào) | G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/69 | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請（專利權(quán)）人 | 青島芯笙微納電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島華慧澤專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉娜 |
| 地址 | 266100 山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號(hào)青島國際創(chuàng)新園B座402室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設(shè)有真空密閉隔熱腔體；第一介質(zhì)層，形成于襯底的上表面；加熱元件、感溫元件及金屬電極，形成于第一介質(zhì)層的上表面，其中感溫元件對稱分布在加熱元件的兩側(cè)，加熱元件及感溫元件局部位于隔熱腔體的上方；第二介質(zhì)層，覆蓋加熱元件、感溫元件、金屬電極及通孔，且局部刻蝕出接觸孔。本發(fā)明的MEMS流量傳感器利用低壓力化學(xué)氣相沉積法的“保形效應(yīng)”形成真空密閉隔熱腔體，一方面可提高隔熱腔體的隔熱性能，另一方面可減少被測流體與隔熱腔體之間的對流熱損失，從而有利于降低器件功耗，并增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件靈敏度。 |
