一種基于MEMS質量流量傳感器的氫氣檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120518959.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214251127U 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN214251127U 申請公布日 2021-09-21
分類號 G01F1/86（2006.01）I;G01M3/26（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 青島芯笙微納電子科技有限公司
代理機構 青島華慧澤專利代理事務所（普通合伙） 代理人 劉娜
地址 266100山東省青島市嶗山區(qū)科苑緯一路1號青島國際創(chuàng)新園B座402室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于MEMS質量流量傳感器的氫氣檢測裝置，包括第一氣體管路、第二氣體管路以及分別設置在第一氣體管路、第二氣體管路側壁上的第一MEMS質量流量傳感器和第二MEMS質量流量傳感器，所述第一氣體管路和第二氣體管路內徑相同，均具有進氣端和出氣端，所述出氣端均連接微型氣泵的進氣口；所述第一MEMS質量流量傳感器和第二MEMS質量流量傳感器的輸出端連接處理器，所述第一氣體管路設置在待測環(huán)境的高處，所述第二氣體管路設置在待測環(huán)境的低處。本實用新型所公開的氫氣檢測裝置具有結構簡單、成本低、響應快等優(yōu)點，且可最大程度上消除環(huán)境因素的影響，提高檢測的準確性。