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專利信息14
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種激光飛行時間光雷達 | 實用新型 | CN201890000986.4 | CN211786109U | 2020-10-27 |
| 2 | 一種提升垂直腔面發(fā)射激光器濕法氧化工藝均勻性的方法及裝置 | 發(fā)明專利 | CN202010002979.1 | CN111162452A | 2020-05-15 |
| 3 | 一種垂直腔面發(fā)射激光器 | 發(fā)明專利 | CN201811477564.9 | CN109524878B | 2019-08-09 |
| 4 | 一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置 | 發(fā)明專利 | CN201810959116.6 | CN109193340B | 2019-06-28 |
| 5 | 一種晶圓結構及其測試方法 | 發(fā)明專利 | CN201811008476.4 | CN109285827B | 2019-05-31 |
| 6 | 一種垂直腔面發(fā)射激光器 | 發(fā)明專利 | CN201811477564.9 | CN109524878A | 2019-03-26 |
| 7 | 一種晶圓結構及其測試方法 | 發(fā)明專利 | CN201811008476.4 | CN109285827A | 2019-01-29 |
| 8 | 一種激光飛行時間光雷達 | 發(fā)明專利 | CN201810959118.5 | CN109270547A | 2019-01-25 |
| 9 | 一種砷化鎵的干法蝕刻工藝及其應用 | 發(fā)明專利 | CN201810959093.9 | CN109216183A | 2019-01-15 |
| 10 | 一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置 | 發(fā)明專利 | CN201810959116.6 | CN109193340A | 2019-01-11 |
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