一種晶圓結(jié)構(gòu)及其測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811008476.4 申請日 -
公開（公告）號 CN109285827B 公開（公告）日 2019-05-31
申請公布號 CN109285827B 申請公布日 2019-05-31
分類號 H01L23/544（2006.01）I; G01N33/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅玉輝; 陳柱元; 程元紅; 鄺智豪; 黃逸生 申請（專利權(quán)）人 新亮智能技術(shù)（中山）有限公司
代理機構(gòu) 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深亮智能技術(shù)（中山）有限公司
地址 528400 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)東鎮(zhèn)東一路32號3幢廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓結(jié)構(gòu)及其測試方法，包括疊放的襯底和外延層；所述外延層包括多層間隔設(shè)置的金屬層和分隔層；其優(yōu)點在于：在一個晶圓結(jié)構(gòu)上設(shè)置多層金屬含量不同的金屬層，通過一次測試可同時獲得多層金屬層的氧化數(shù)據(jù)，進(jìn)而得到該種功率器件的多種金屬含量氧化數(shù)據(jù)，大大減少了調(diào)試所需的時間和成本；由于在同一氧化環(huán)境中同時獲得多層金屬層的氧化數(shù)據(jù)，提高了氧化環(huán)境的統(tǒng)一性，減少了可能存在的由氧化環(huán)境設(shè)置誤差導(dǎo)致的測試結(jié)果誤差，提高了測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。