一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810959116.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN109193340B 公開(kāi)（公告）日 2019-06-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN109193340B 申請(qǐng)公布日 2019-06-28
分類號(hào) H01S5/183（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 羅玉輝; 程元紅; 鄺智豪; 黃逸生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新亮智能技術(shù)（中山）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市越秀區(qū)海心聯(lián)合專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 深亮智能技術(shù)（中山）有限公司;新亮智能技術(shù)（中山）有限公司
地址 528400 廣東省中山市火炬開(kāi)發(fā)區(qū)東鎮(zhèn)東一路32號(hào)3幢廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種垂直腔面發(fā)射激光器的濕法氧化工藝及裝置，將垂直腔面發(fā)射激光器放置加熱爐中，啟動(dòng)加熱爐加熱至反應(yīng)溫度，然后按反應(yīng)比例向點(diǎn)火裝置通入氫氣和氧氣并點(diǎn)火燃燒，燃燒生成的水蒸汽通入加熱爐，所述水蒸汽和垂直腔面發(fā)射激光器的外延片中暴露的高鋁組分化合物發(fā)生反應(yīng)，形成氧化物限制結(jié)構(gòu)，即氧化鋁絕緣層。本發(fā)明提供的方法以氫氣和氧氣燃燒產(chǎn)生水蒸汽通入放置有VCSEL激光器的加熱爐中，實(shí)現(xiàn)高含鋁層中鋁的氧化。