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    • 浦東新興

    上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司

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    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置及控制方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410110078.9 CN104952759B 2019-03-12
    2 基于前值的關(guān)鍵尺寸測(cè)量方法和設(shè)備 發(fā)明專(zhuān)利 CN201510323992.6 CN106289095B 2019-02-19
    3 硅片吸盤(pán) 發(fā)明專(zhuān)利 CN201510323807.3 CN106252791B 2019-02-19
    4 研磨絲調(diào)整機(jī)構(gòu)以及研磨絲調(diào)整方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN201510415699.2 CN106346335B 2019-01-22
    5 三維空間光源系統(tǒng)及相關(guān)的光測(cè)量設(shè)備 實(shí)用新型 CN201721201675.8 CN207850536U 2018-09-11
    6 物體表面高度快速定位的方法與裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410190950.5 CN105091759B 2018-08-24
    7 確定測(cè)量模式和光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)容差的方法和裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410542475.3 CN105571484B 2018-07-06
    8 一種用于優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)參數(shù)的方法和裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410542473.4 CN105571483B 2018-06-26
    9 用于光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量的方法及裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410234193.7 CN105444666B 2018-05-25
    10 物體旋轉(zhuǎn)中心的定標(biāo)方法與裝置 發(fā)明專(zhuān)利 CN201410394877.3 CN105444643B 2018-05-04

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