三維空間光源系統(tǒng)及相關的光測量設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721201675.8 申請日 -
公開（公告）號 CN207850536U 公開（公告）日 2018-09-11
申請公布號 CN207850536U 申請公布日 2018-09-11
分類號 G01J3/447;G01J3/10 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王立峰;葉薇薇;李宇 申請（專利權）人 上海浦東新興產業(yè)投資有限公司
代理機構 北京市金杜律師事務所 代理人 睿勵科學儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型的各實施例涉及一種三維空間光源系統(tǒng)及其相關的光測量設備，其中三維空間光源系統(tǒng)包括：光源；以及彼此獨立的多個光路，被配置為分別獨立地耦合到所述光源；其中，所述多個光路進一步包括中間光路和多個外圍光路，所述多個外圍光路被配置為圍繞所述中間光路進行布置并且能夠作為次級光源進行輸出。由此，本實用新型的三維空間光源系統(tǒng)只需一個光源即可滿足橢圓偏振測量設備所需的多路光源需求，且結構簡單、裝調方便、易于維護。