硅片吸盤(pán)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510323807.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106252791B 公開(kāi)（公告）日 2019-02-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN106252791B 申請(qǐng)公布日 2019-02-19
分類(lèi)號(hào) H01P1/10 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 屈俊健 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片吸盤(pán)，其包括：至少一個(gè)安裝通孔，該安裝通孔由該硅片吸盤(pán)的第一表面延伸至與該第一表面相對(duì)的第二表面；至少一個(gè)階梯銷(xiāo)，該階梯銷(xiāo)被設(shè)置在安裝通孔內(nèi)；以及至少一個(gè)復(fù)位彈簧，該復(fù)位彈簧套在階梯銷(xiāo)上。此外，本發(fā)明還涉及一種硅片檢測(cè)設(shè)備，其包括上述的硅片吸盤(pán)。根據(jù)本發(fā)明的硅片吸盤(pán)采用了純機(jī)械結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量較輕、制造成本低并且使用方便。