基于前值的關(guān)鍵尺寸測(cè)量方法和設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510323992.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106289095B 公開（公告）日 2019-02-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN106289095B 申請(qǐng)公布日 2019-02-19
分類號(hào) G01B11/24;G06F16/24 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張振生;施耀明;孫冬梅;陳慧萍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號(hào)張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于前值的關(guān)鍵尺寸測(cè)量方法和設(shè)備。該基于前值的測(cè)量方法，包括：A.獲取樣品在前次工藝步驟中的第一測(cè)量數(shù)據(jù)；B.構(gòu)建樣品在當(dāng)前工藝步驟中的光譜數(shù)據(jù)庫(kù)，其中，在當(dāng)前工藝步驟中的樣品輪廓與前次工藝步驟中的樣品輪廓至少部分地相關(guān)聯(lián)；C.在前次工藝步驟中的測(cè)量區(qū)域上獲取樣品在當(dāng)前工藝步驟中的測(cè)量光譜；D.基于樣品在前次工藝步驟中的輪廓參數(shù)的數(shù)據(jù)，在光譜數(shù)據(jù)庫(kù)中對(duì)測(cè)量光譜進(jìn)行匹配分析，進(jìn)而確定樣品在當(dāng)前工藝步驟中的輪廓參數(shù)的數(shù)據(jù)。