晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置及控制方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410110078.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104952759B 公開（公告）日 2019-03-12
申請公布號 CN104952759B 申請公布日 2019-03-12
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王英; 周萬泉; 李茂森; 陳寶龍 申請（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制裝置，其適用于控制所述微環(huán)境以防止清潔后的晶圓被再次污染，包括：具有控制模塊、溫度探測器和壓差計的控制部分、冷卻氣體輸入管路、排氣管路、不活潑氣體輸入管路以及去污干燥裝置。該裝置可在晶圓被加熱清潔之后使晶圓清潔箱與冷卻氣體源可連通，向箱內(nèi)輸送冷卻氣體來將晶圓冷卻至箱外環(huán)境溫度；同時在冷卻結(jié)束之后使晶圓清潔箱與不活潑氣體源可連通，向箱內(nèi)輸送不活潑氣體；另外，在冷卻氣體或不活潑氣體進入晶圓清潔箱之前先進行干燥和去污，從而避免在晶圓的冷卻過程以及晶圓進入下一道工序之前被再度污染。本發(fā)明還提供一種晶圓清潔箱內(nèi)微環(huán)境控制方法。