用于光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量的方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410234193.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105444666B 公開（公告）日 2018-05-25
申請公布號 CN105444666B 申請公布日 2018-05-25
分類號 G01B11/00;G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王鑫;施耀明;張振生;徐益平 申請（專利權(quán)）人 上海浦東新興產(chǎn)業(yè)投資有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市金杜律師事務(wù)所 代理人 睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明描述了一種在光學(xué)關(guān)鍵尺寸(OCD)測量設(shè)備中的提升光譜曲線匹配可靠性和測量精確度的方法及裝置。其包括對各個(gè)待測結(jié)構(gòu)參數(shù)在全體波長點(diǎn)的理論光譜進(jìn)行靈敏度分析并獲取靈敏度隨波長分布；對各個(gè)待測結(jié)構(gòu)參數(shù)的靈敏度隨波長分布進(jìn)行歸一化處理；靈活設(shè)置統(tǒng)化權(quán)重系數(shù)并對所述歸一化的靈敏度隨波長分布進(jìn)行統(tǒng)化處理；在理論光譜與測量光譜的匹配過程中在每個(gè)波長點(diǎn)設(shè)置匹配權(quán)重系數(shù)并對理論光譜與測量光譜進(jìn)行評價(jià)優(yōu)化操作以判定兩者的匹配程度；這樣，實(shí)現(xiàn)了匹配評價(jià)的優(yōu)化設(shè)計(jì)并達(dá)到了待測結(jié)構(gòu)參數(shù)擬合值精確度的提升。