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    • 國海嘉興

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    1 高精度隧道式加速度計及其制備方法 發(fā)明專利 CN200310122478.3 CN100356177C 2007-12-19
    2 微機電系統(tǒng)器件的真空封裝方法 發(fā)明專利 CN02100469.2 CN1259231C 2006-06-14
    3 高精度隧道式加速度計及其制備方法 發(fā)明專利 CN200310122478.3 CN1635381A 2005-07-06
    4 微機電系統(tǒng)器件的真空封裝方法 發(fā)明專利 CN02100469.2 CN1363509A 2002-08-14

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