高精度隧道式加速度計及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200310122478.3 申請日 -
公開（公告）號 CN100356177C 公開（公告）日 2007-12-19
申請公布號 CN100356177C 申請公布日 2007-12-19
分類號 G01P15/08(2006.01) 分類 測量；測試;
發(fā)明人 董海峰;賈玉斌;郝一龍 申請（專利權(quán)）人 北京國海嘉興聯(lián)合科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京君尚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 北京大學(xué)
地址 100871北京市海淀區(qū)頤和園路5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高精度隧道加速度計結(jié)構(gòu)及其制備方法。該隧道加速度計隧尖為圓錐型，支撐梁厚度小于質(zhì)量塊厚度。其制備方法依次包括以下步驟：在硅片上刻蝕淺槽，定出隧尖與對應(yīng)電極的初始間距；繼續(xù)刻蝕制備隧尖，并在隧尖上淀積金屬作為隧道電流發(fā)射電極；在玻璃襯底上制備驅(qū)動電極和隧尖對應(yīng)電極；陽極鍵合，實(shí)現(xiàn)玻璃襯底和硅片的對準(zhǔn)和粘合；干法深槽刻蝕工藝刻蝕硅片背面，生成支撐梁；繼續(xù)刻蝕硅片背面生成質(zhì)量塊，釋放結(jié)構(gòu)即得隧道加速度計。本發(fā)明的隧道加速度計，支撐梁厚度小于質(zhì)量塊厚度，提高了靈敏度。制備方法采用常規(guī)MEMS工藝，支撐梁和質(zhì)量塊通過干法深刻蝕得到，避免了濕法釋放引起的粘附、隧尖污染和常規(guī)的濃硼擴(kuò)散。