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    • 光壘光電

    光壘光電科技（上海）有限公司

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    • 地址：上海市普陀區(qū)中江路879弄1號樓410室
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    • 專利信息 45
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    • 作品著作權(quán) 0
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    專利信息45

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 進(jìn)氣裝置 實(shí)用新型 CN201320504645.X CN203653689U 2014-06-18
    2 進(jìn)氣管道以及進(jìn)氣裝置 實(shí)用新型 CN201320504654.9 CN203513793U 2014-04-02
    3 噴淋頭及反應(yīng)腔室 發(fā)明專利 CN201310517831.1 CN103540910A 2014-01-29
    4 半導(dǎo)體處理系統(tǒng)、襯底托盤以及機(jī)械手 發(fā)明專利 CN201310411110.2 CN103465266A 2013-12-25
    5 一種用于光學(xué)特性參數(shù)測試的LED外延結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN201320387474.7 CN203351640U 2013-12-18
    6 半導(dǎo)體制造系統(tǒng) 實(shí)用新型 CN201320361049.0 CN203351563U 2013-12-18
    7 沉積設(shè)備以及旋轉(zhuǎn)裝置 實(shí)用新型 CN201320360851.8 CN203346474U 2013-12-18
    8 一種用于化學(xué)氣相沉積工藝的襯底及石墨盤 實(shí)用新型 CN201320326603.1 CN203346473U 2013-12-18
    9 用于外延沉積III-V材料層的反應(yīng)腔 實(shí)用新型 CN201320347098.9 CN203346472U 2013-12-18
    10 用于外延沉積III-V材料層的反應(yīng)腔 實(shí)用新型 CN201320346387.7 CN203346471U 2013-12-18

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