沉積設(shè)備以及旋轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320360851.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203346474U 公開(kāi)（公告）日 2013-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN203346474U 申請(qǐng)公布日 2013-12-18
分類(lèi)號(hào) C23C16/458(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃允文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 光壘光電科技（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄭瑋
地址 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)延安西路889號(hào)1106B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及沉積設(shè)備，該沉積設(shè)備包括反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔內(nèi)具有用于帶動(dòng)襯底旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；用于帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置包括：支撐座、筒狀外殼以及旋轉(zhuǎn)支撐軸，所述筒狀外殼一端連接所述支承座上，另一端連接所述反應(yīng)腔，所述旋轉(zhuǎn)支撐軸套設(shè)在所述筒狀外殼內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)支撐軸的一端伸入到所述反應(yīng)腔中，并與所述反應(yīng)腔中的所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)連接，所述筒狀外殼內(nèi)嵌設(shè)有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一對(duì)配合使用的定子和轉(zhuǎn)子，所述定子安裝于所述筒狀外殼的內(nèi)壁，所述轉(zhuǎn)子安裝于所述旋轉(zhuǎn)支撐軸上。本實(shí)用新型還提供一種旋轉(zhuǎn)裝置。本實(shí)用新型的所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以設(shè)置于所述筒狀外殼內(nèi)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝、維護(hù)方便。