新陽硅密
商標(biāo)信息3
專利信息82
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種共享晶圓夾具的金屬鍍覆設(shè)備和方法 | 發(fā)明專利 | CN202111605281.X | CN114182333A | 2022-03-15 |
| 2 | 一種用于單片濕處理制程的槽式工藝系統(tǒng) | 實用新型 | CN202122226073.0 | CN215965212U | 2022-03-08 |
| 3 | 一種用于單片浸入式濕處理工藝的表面排氣設(shè)備 | 實用新型 | CN202122226003.5 | CN215940848U | 2022-03-04 |
| 4 | 電鍍藥水回收裝置 | 實用新型 | CN202121772312.6 | CN215925137U | 2022-03-01 |
| 5 | 導(dǎo)電密封組件和包含其的晶圓電鍍夾具 | 實用新型 | CN202121761422.2 | CN215925125U | 2022-03-01 |
| 6 | 減小載具對晶圓表面清洗影響的方法 | 發(fā)明專利 | CN202111328964.5 | CN114093752A | 2022-02-25 |
| 7 | 導(dǎo)電密封組件和包含其的電鍍夾具 | 實用新型 | CN202121771961.4 | CN215757707U | 2022-02-08 |
| 8 | 導(dǎo)電密封組件和包含其的晶圓電鍍夾具 | 實用新型 | CN202121764113.0 | CN215757706U | 2022-02-08 |
| 9 | 導(dǎo)電密封組件 | 實用新型 | CN202121772263.6 | CN215593227U | 2022-01-21 |
| 10 | 晶圓翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的保護裝置及其保護方法 | 發(fā)明專利 | CN202111306223.7 | CN113948435A | 2022-01-18 |
軟件著作權(quán)6
| 序號 | 軟件名稱 | 軟件簡稱 | 版本號 | 登記號 | 分類號 | 首次發(fā)表日期 | 登記批準(zhǔn)日期 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | CDU化學(xué)藥液自動供給系統(tǒng)控制軟件 | - | V1.0 | 2018SR003189 | 10100-0000 | - | 2018-01-02 |
| 2 | 晶圓掛鍍金設(shè)備自動控制軟件 | - | V1.0 | 2018SR002431 | 10100-0000 | - | 2018-01-02 |
| 3 | IPA晶圓清洗烘干機自動控制軟件 | - | V1.0 | 2017SR611505 | 30200-0000 | 2017-02-02 | 2017-11-08 |
| 4 | 晶圓的機械手自動取放移動控制軟件 | - | V1.0 | 2017SR611462 | 30200-0000 | 2017-02-22 | 2017-11-08 |
| 5 | 多功能晶圓清洗機自動控制軟件 | - | V1.0 | 2017SR611124 | 30200-0000 | 2017-04-04 | 2017-11-08 |
| 6 | 晶圓盒清洗烘干機自動控制軟件 | - | V1.0 | 2017SR610905 | 30200-0000 | 2017-05-31 | 2017-11-08 |
作品著作權(quán)0
暫無作品著作權(quán)
網(wǎng)站備案2

| 序號 | 網(wǎng)站名 | 網(wǎng)址 | 備案號 | 主辦單位性質(zhì) | 審核日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 新陽硅密(上海)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司 | www.systechsemi.com | 滬ICP備2021024075號 | 企業(yè) | 2021-08-20 |
| 2 | - | www.systechsemi.com | 滬ICP備2021024075號 | 企業(yè) | 2021-08-20 |
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