導電密封組件和包含其的電鍍夾具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121771961.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215757707U 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN215757707U 申請公布日 2022-02-08
分類號 C25D17/06（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設備〔4〕;
發(fā)明人 史蒂文·賀·汪 申請（專利權）人 新陽硅密（上海）半導體技術有限公司
代理機構 上海弼興律師事務所 代理人 楊東明;蔡燁平
地址 201616上海市松江區(qū)思賢路3600號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種導電密封組件和包含其的電鍍夾具，其用于電鍍夾具，所述導電密封組件包括：導電環(huán)，所述導電環(huán)具有導電端，所述導電端用于與晶圓的邊緣電接觸；密封部，所述密封部至少設置于所述導電端的內側，所述密封部具有密封端，所述密封端沿著不垂直于晶圓表面的方向朝所述晶圓延伸，且所述密封端的尺寸厚度沿靠近所述晶圓的方向逐漸變窄，所述密封端朝向所述晶圓的一側凸出于所述導電端。該導電密封組件確保與晶圓電接觸的均勻性和可靠性，能夠同時完成密封和導電的雙狀態(tài)，解決了導電均勻性和密封性對于電鍍均勻性的影響，增大了晶圓的利益。