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    專利信息46

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開(公告)號(hào) 公布日期
    1 振膜和包括該振膜的麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201010153540.5 CN101959103B 2016-06-08
    2 硅基麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201010173213.6 CN101835080B 2014-04-30
    3 微型麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201010167980.6 CN101959108B 2013-12-25
    4 麥克風(fēng)的制造方法 發(fā)明專利 CN201010153512.3 CN101959117B 2013-08-07
    5 硅電容麥克風(fēng)及制造硅電容麥克風(fēng)的方法 發(fā)明專利 CN201010144913.2 CN101808263B 2013-04-24
    6 振膜和應(yīng)用該振膜的硅基麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201010163693.8 CN101883305B 2013-03-06
    7 電容MEMS麥克風(fēng)振膜 發(fā)明專利 CN201010167950.5 CN101883307B 2012-12-12
    8 振膜及包括該振膜的電容麥克風(fēng) 發(fā)明專利 CN201010163721.6 CN101883306B 2012-12-12
    9 MEMS加速度傳感器 發(fā)明專利 CN201010198622.1 CN101871952B 2012-07-11
    10 加速度傳感器 發(fā)明專利 CN201010198641.4 CN101865934B 2012-01-18

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