振膜和應(yīng)用該振膜的硅基麥克風(fēng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010163693.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101883305B 公開（公告）日 2013-03-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN101883305B 申請(qǐng)公布日 2013-03-06
分類號(hào) H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 楊斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瑞聲微電子科技（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園北區(qū)新西路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種振膜，其包括：振動(dòng)部，所述振動(dòng)部設(shè)有自其外周向振動(dòng)部中心凹陷的至少兩個(gè)凹槽，所述振膜還包括與振動(dòng)部相連且部分收容于凹槽內(nèi)的連接部和與連接部相連的支撐部，所述支撐部與振動(dòng)部間設(shè)有第一間隙，連接部與振動(dòng)部的凹槽間設(shè)有第二間隙。本發(fā)明通過在振動(dòng)部上設(shè)置凹槽并利用連接部分別將振動(dòng)部的凹槽和支撐部連接起來，又通過第一、第二間隙來控制空氣阻尼，增加了振膜的振動(dòng)面積，從而提高應(yīng)用該振膜的硅基麥克風(fēng)的靈敏度。本發(fā)明另提供了一種利用上述振膜的硅基麥克風(fēng)。