麥克風(fēng)的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010153512.3 申請日 -
公開（公告）號 CN101959117B 公開（公告）日 2013-08-07
申請公布號 CN101959117B 申請公布日 2013-08-07
分類號 H04R31/00(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 楊斌 申請（專利權(quán)）人 瑞聲微電子科技（常州）有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園北區(qū)新西路18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種麥克風(fēng)的制造方法，該方法包括如下步驟：提供一個第一單晶硅襯底，在第一單晶硅襯底的表面分別形成第一刻蝕阻擋層和第一多晶硅；圖案化第一多晶硅并在其上沉積鍵合層；提供一個第二單晶硅襯底，在第二單晶硅襯底的表面分別形成第二刻蝕阻擋層和第二多晶硅；將第一單晶硅襯底的鍵合層與第二多晶硅高溫鍵合；分別在第一、第二單晶硅襯底的另一個表面沉積二氧化硅；在二氧化硅上沉積光刻膠并將光刻膠圖案化；使二氧化硅圖案化；刻蝕第一、第二單晶硅襯底，再去除所述光刻膠；釋放整個結(jié)構(gòu)，得到麥克風(fēng)。通過本發(fā)明的麥克風(fēng)的制造方法得到的麥克風(fēng)靈敏度高、一致性好。