電容MEMS麥克風(fēng)振膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010167950.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101883307B 公開（公告）日 2012-12-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN101883307B 申請(qǐng)公布日 2012-12-12
分類號(hào) H04R7/00(2006.01)I;H04R19/04(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 楊斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瑞聲微電子科技（常州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園北區(qū)新西路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及微型麥克風(fēng)領(lǐng)域，具體指一種應(yīng)用于電子設(shè)備上，具有更加靈敏度的電容MEMS(micro-electro-mechanical?system)麥克風(fēng)振膜，它包括與背板構(gòu)成電容系統(tǒng)的振膜單元，所述振膜單元包括位于中央位置懸置的內(nèi)膜和外圍膜片，其中所述的外圍膜片由內(nèi)膜邊緣向外衍生延伸出至少四對(duì)均勻分布的環(huán)形折梁構(gòu)成，以減小絕緣層對(duì)振膜單元周側(cè)邊緣部的約束，可以有效提高靈敏度；同時(shí)本發(fā)明的振膜單元，能夠防止振膜單元振顫時(shí)的平面扭動(dòng)，有效釋放應(yīng)力，從而進(jìn)一步改善麥克風(fēng)性能的穩(wěn)定性。