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    • 遠(yuǎn)榮

    深圳遠(yuǎn)榮半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

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    • 地址：深圳市寶安區(qū)松崗街道朗下社區(qū)茅洲工業(yè)區(qū)C3棟201
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    • 專利信息 5
    • 軟件著作權(quán) 0
    • 作品著作權(quán) 0
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    商標(biāo)信息0

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    專利信息5

    序號 專利名稱 專利類型 申請?zhí)?/th> 公開（公告）號 公布日期
    1 一種晶圓平面的校正裝置 實用新型 CN202121992379.0 CN216054643U 2022-03-15
    2 一種晶圓翻轉(zhuǎn)裝置 實用新型 CN202121991186.3 CN215625201U 2022-01-25
    3 一種晶圓表面清洗裝置 實用新型 CN202121992393.0 CN215613558U 2022-01-25
    4 一種異型玻璃表面勻膠治具 實用新型 CN202121992676.5 CN215612900U 2022-01-25
    5 一種晶圓平面的校正裝置 發(fā)明專利 CN202110967595.8 CN113707589A 2021-11-26

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