啟微
江蘇啟微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
存續(xù)商標(biāo)信息2
專利信息29
| 序號 | 專利名稱 | 專利類型 | 申請?zhí)?/th> | 公開(公告)號 | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種高潔凈晶圓濕法清洗裝置 | 發(fā)明專利 | CN202011635599.8 | CN112845300A | 2021-05-28 |
| 2 | 一種晶圓復(fù)合清洗設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202011631979.4 | CN112845297A | 2021-05-28 |
| 3 | 可改善單片清洗固體結(jié)晶物堆積的裝置及濕法清洗設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202011631610.3 | CN112845296A | 2021-05-28 |
| 4 | 一種有效防止晶圓交叉污染的氣流控制模組 | 發(fā)明專利 | CN202011632744.7 | CN112786493A | 2021-05-11 |
| 5 | 一種晶圓盒中轉(zhuǎn)輸送裝置及中轉(zhuǎn)輸送方法 | 發(fā)明專利 | CN202011636183.8 | CN112736003A | 2021-04-30 |
| 6 | 一種適用于供酸系統(tǒng)的高潔凈濕法設(shè)備 | 發(fā)明專利 | CN202011637072.9 | CN112735989A | 2021-04-30 |
| 7 | 一種用于晶圓清洗設(shè)備的復(fù)合腔體超短行程交錯控制方法 | 發(fā)明專利 | CN202011636689.9 | CN112735988A | 2021-04-30 |
| 8 | 一種晶圓復(fù)合清洗方法 | 發(fā)明專利 | CN202011635619.1 | CN112735986A | 2021-04-30 |
| 9 | 一種濕法處理設(shè)備氣密性安裝結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202020033584.3 | CN212553856U | 2021-02-19 |
| 10 | 一種減少移動應(yīng)力的機(jī)械手臂與濕法處理設(shè)備安裝結(jié)構(gòu) | 實用新型 | CN202020033151.8 | CN212445206U | 2021-02-02 |
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