一種濕法處理設(shè)備氣密性安裝結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020033584.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212553856U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212553856U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號(hào) | B25J11/00(2006.01)I; | 分類 | 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手; |
| 發(fā)明人 | 鄧信甫;許峯嘉;莊海云;陳佳煒;徐銘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇啟微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海智力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 杜冰云 |
| 地址 | 226299江蘇省南通市啟東經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)林洋路2015號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種濕法處理設(shè)備氣密性安裝結(jié)構(gòu)，包括風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元、排氣機(jī)構(gòu)、阻擋片、設(shè)備區(qū)段隔離門(mén)及機(jī)械手臂隔離板，所述濕法處理設(shè)備包括并列設(shè)置的多個(gè)工藝區(qū)段，每個(gè)所述工藝區(qū)段的頂部均設(shè)置有用于安裝所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的安裝口，所述安裝口為矩形且于4個(gè)角點(diǎn)位置設(shè)置有L形阻擋片，所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的底部設(shè)置有與所述L形阻擋片相匹配的卡合槽，所述風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元的出風(fēng)口與所述工藝區(qū)段連通，所述機(jī)械手臂隔離板沿所述濕法處理設(shè)備的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述排氣機(jī)構(gòu)安裝于所述工藝區(qū)段的底部。本實(shí)用新型在濕法處理設(shè)備的安裝口處設(shè)置有L形阻擋片，與風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元底部的卡合槽相匹配，保證了風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元安裝的氣密性。?? |
