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    • 中科米

    安徽中科米微電子技術(shù)有限公司

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    • 地址：安徽省蚌埠市禹會(huì)區(qū)科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)園5號(hào)廠房
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    專利信息30

    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種對(duì)稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)MEMS微鏡及其制作方法 發(fā)明專利 CN202010843569.X CN114077047A 2022-02-22
    2 高占空比MEMS微鏡、微鏡陣列及制備方法 發(fā)明專利 CN202111004154.4 CN113820852A 2021-12-21
    3 雙軸垂直梳齒MEMS微鏡、微鏡陣列及制備方法 發(fā)明專利 CN202111003113.3 CN113820851A 2021-12-21
    4 一種轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)及MEMS雙軸轉(zhuǎn)鏡 發(fā)明專利 CN202010403516.6 CN113671690A 2021-11-19
    5 一種具有大鏡面的MEMS轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu) 發(fā)明專利 CN202010402584.0 CN113671689A 2021-11-19
    6 雙面電極結(jié)構(gòu)的MEMS微鏡及其制備方法 發(fā)明專利 CN202110545663.1 CN113376826A 2021-09-10
    7 一種基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測(cè)試裝置及測(cè)試方法 發(fā)明專利 CN202110538492.X CN113218338A 2021-08-06
    8 一種光學(xué)直角反射鏡及其制造方法 發(fā)明專利 CN201610038072.4 CN106986299B 2021-03-09
    9 大尺寸MEMS垂直梳齒微鏡及其制備方法 發(fā)明專利 CN202010350516.4 CN111552072A 2020-08-18
    10 靜電驅(qū)動(dòng)MEMS微鏡陣列及其制備方法 發(fā)明專利 CN202010351741.X CN111538154A 2020-08-14

    軟件著作權(quán)1

    序號(hào) 軟件名稱 軟件簡(jiǎn)稱 版本號(hào) 登記號(hào) 分類號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 中科米微數(shù)據(jù)庫(kù)軟件 - V1.0 2021SR0398556 - - 2021-03-16

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