一種基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測(cè)試裝置及測(cè)試方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110538492.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113218338A 公開（公告）日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN113218338A 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) G01B11/26 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙旭東;方杰;杜鋮柯 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 233000 安徽省蚌埠市禹會(huì)區(qū)冠宜大廈2號(hào)樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測(cè)試裝置及測(cè)試方法，多點(diǎn)位測(cè)試裝置包括：入射光模塊，包括擴(kuò)束準(zhǔn)直激光光源、光闌、空間光開光及光路輔助鏡片，所述擴(kuò)束準(zhǔn)直激光光源用于產(chǎn)生照射在所述光闌上的平行激光束，所述光闌用于控制平行激光束寬度，所述空間光開關(guān)設(shè)置在經(jīng)所述光闌出射光的光路上，用于控制激光束通斷，所述光路輔助鏡片用于改變激光束的光路以將激光束照射在待測(cè)芯片上；光接收模塊，包括聚光部件及像點(diǎn)接收屏，所述聚光部件用于將經(jīng)所述待測(cè)芯片反射的激光束照射在所述像點(diǎn)接收屏上。通過本發(fā)明的基于自準(zhǔn)直儀的多點(diǎn)位測(cè)試裝置，實(shí)現(xiàn)大幅提高生產(chǎn)測(cè)試效率，降低封測(cè)成本的目的。