一種光學直角反射鏡及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610038072.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106986299B 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN106986299B 申請公布日 2021-03-09
分類號 B81C1/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I 分類 微觀結構技術〔7〕;
發(fā)明人 吳亞明;翟雷應;徐靜 申請（專利權）人 安徽中科米微電子技術有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 余明偉
地址 233010安徽省蚌埠市禹會區(qū)冠宜大廈2號樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N光學直角反射鏡及其制造方法，該方法用于在單晶硅基片上制造光學直角反射鏡，該方法包括：在基片的表面形成蝕刻掩模，所述蝕刻掩模具有使所述基片的表面露出的開口，所述基片是單晶硅片；對形成有蝕刻掩模的所述基片進行濕法腐蝕，以形成刻槽，所述刻槽至少具有相互垂直的兩側壁，兩個所述側壁是硅(110)晶面，并且兩個所述側壁與所述基片表面夾角為45°；以及在所述刻槽的兩個所述側壁覆蓋光反射層，以在所述刻槽中形成直角反射鏡。根據本申請的方法制造直角反射鏡，其光學質量好、精度高、體積小、成本低，并且可以方便制造陣列式的多槽直角反射鏡，從而獲得較大面積的直角反射鏡。??