一種對稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)MEMS微鏡及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010843569.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114077047A 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN114077047A 申請公布日 2022-02-22
分類號 G02B26/08（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 李偉;徐靜 申請（專利權(quán)）人 安徽中科米微電子技術有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 劉星
地址 233000安徽省蚌埠市禹會區(qū)冠宜大廈2號樓三層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種對稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)MEMS微鏡及其制作方法，該MEMS微鏡包括框架、可動微光反射鏡、對稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)及梳齒結(jié)構(gòu)，其中，對稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)包括第一、第二折疊彈性梁，第一折疊彈性梁、可動微光反射鏡及第二折疊彈性梁在第一方向上依次連接，且第一、第二折疊彈性梁相對于可動微光反射鏡對稱設置。本發(fā)明采用雙器件層基底來制作MEMS微鏡，可以簡化工藝流程，提高器件的驅(qū)動及可靠性性能，并且對稱折疊彈性梁結(jié)構(gòu)關于可動微光反射鏡具有高度對稱的特征，在受到?jīng)_擊或振動時不會產(chǎn)生任何的扭矩，提高了MEMS微鏡的抗沖擊或振動能力，從而使MEMS微鏡的可靠性得到提升。