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    1 一種薄膜電晶體電特性?xún)?yōu)化方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202110563881.8 CN113355745A 2021-09-07
    2 一種反應(yīng)室八寸石墨盤(pán)防飛脫的裝置 實(shí)用新型 CN202021621863.8 CN212713749U 2021-03-16
    3 一種反應(yīng)室4寸石墨盤(pán)防飛脫的裝置 實(shí)用新型 CN202021614959.1 CN212713748U 2021-03-16
    4 一種反應(yīng)室環(huán)繞式石英槽壁粗糙度控制的裝置 實(shí)用新型 CN202021612105.X CN212713745U 2021-03-16
    5 一種反應(yīng)室分布式石英星盤(pán)陣列粗糙度控制的裝置 實(shí)用新型 CN202021612076.7 CN212713744U 2021-03-16
    6 一種反應(yīng)室石英支撐盤(pán)減薄的裝置 實(shí)用新型 CN202021612282.8 CN212542368U 2021-02-12

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