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    • 魯汶

    北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司

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    • 地址：北京市北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)4幢2層203
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    • 專(zhuān)利信息 21
    • 軟件著作權(quán) 7
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    商標(biāo)信息0

    暫無(wú)信息 暫無(wú)商標(biāo)信息

    專(zhuān)利信息21

    序號(hào) 專(zhuān)利名稱(chēng) 專(zhuān)利類(lèi)型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 一種機(jī)械手手指冷卻裝置 實(shí)用新型 CN202122198154.4 CN215896328U 2022-02-22
    2 一種等離子刻蝕機(jī)的介質(zhì)窗勻溫裝置 實(shí)用新型 CN202122064579.6 CN215896306U 2022-02-22
    3 一種法拉第屏蔽裝置、等離子體刻蝕系統(tǒng)及其使用方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010470678.1 CN113745085A 2021-12-03
    4 一種法拉第屏蔽裝置、等離子體刻蝕系統(tǒng)及其使用方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010469381.3 CN113745084A 2021-12-03
    5 收納裝置 實(shí)用新型 CN202121531897.2 CN214931747U 2021-11-30
    6 一種高度可調(diào)節(jié)聚焦環(huán)及等離子體刻蝕設(shè)備 實(shí)用新型 CN202121290748.1 CN214672496U 2021-11-09
    7 一種等離子刻蝕機(jī)及其使用方法 發(fā)明專(zhuān)利 CN202010354739.8 CN113571399A 2021-10-29
    8 真空腔室及其多轉(zhuǎn)軸重載真空腔室鉸鏈 實(shí)用新型 CN202020953038.1 CN213573509U 2021-06-29
    9 一種用于離子束刻蝕機(jī)開(kāi)合門(mén)的連桿鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202020980937.0 CN213175232U 2021-05-11
    10 一種晶圓掃描噴嘴清洗槽 實(shí)用新型 CN202021130986.1 CN213162175U 2021-05-11

    軟件著作權(quán)7

    序號(hào) 軟件名稱(chēng) 軟件簡(jiǎn)稱(chēng) 版本號(hào) 登記號(hào) 分類(lèi)號(hào) 首次發(fā)表日期 登記批準(zhǔn)日期
    1 薄膜納米材料孔徑分析儀數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) GAM-100 V2.0.0 2021SR0294068 - - 2021-08-23
    2 RecipeEditor編輯軟件 RecipeEditor V2.3.0 2020SR1271525 - 2020-05-19 2020-12-30
    3 Footprint Animation用戶控件軟件 - V1.0 2020SR0759542 - - 2020-07-13
    4 VPD-300平臺(tái)軟件 VPD-300 V1.0 2020SR0758248 - - 2020-07-13
    5 四探針自動(dòng)測(cè)量軟件 AutoProbe V1.0 2020SR0758239 - - 2020-07-13
    6 SoptPLC ADS通訊軟件 SoftPLC V1.0 2020SR0758232 - - 2020-07-13
    7 磁存儲(chǔ)刻蝕機(jī)LMEC300計(jì)算機(jī)軟件 SW_LMEC300 V1.0 2020SR0758147 - - 2020-07-13

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