一種機(jī)械手手指冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122198154.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215896328U 公開(kāi)（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN215896328U 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01J37/32（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 郭頌;張霄;朱小慶;劉海洋;陳兆超;程實(shí)然;胡冬冬;許開(kāi)東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 紀(jì)德虎
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號(hào)4幢2層203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型的一種機(jī)械手手指冷卻裝置，包括用于放置機(jī)械手的腔體，所述機(jī)械手的手指處安裝有通水槽，所述通水槽上連接有進(jìn)水管和出水管，所述進(jìn)水管和出水管從腔體中穿出；所述腔體位于機(jī)械手手指的一側(cè)設(shè)置有用于和工藝腔連接的接口，接口處設(shè)置有密封件和門(mén)閥。本實(shí)用新型冷卻效率高，冷卻液的溫度一般維持較低，冷卻過(guò)后的晶圓比較穩(wěn)定，大大降低有害氣體的釋放，減少對(duì)操作者的傷害。