一種等離子刻蝕機的介質(zhì)窗勻溫裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122064579.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215896306U 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN215896306U 申請公布日 2022-02-22
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 劉海洋;郭頌;劉小波;張瑤瑤;王鋮熠;張霄;胡冬冬;許開東 申請（專利權(quán)）人 北京魯汶半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 彭英
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)經(jīng)海二路28號4幢2層203
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于刻蝕工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種等離子刻蝕機的介質(zhì)窗勻溫裝置，本裝置包括散熱風(fēng)扇和散熱風(fēng)扇屏蔽罩，散熱風(fēng)扇安裝在散熱風(fēng)扇屏蔽罩內(nèi)，每個散熱風(fēng)扇的出風(fēng)面均朝向加熱器中心區(qū)域；每個散熱風(fēng)扇屏蔽罩的朝向屏蔽罩頂面中心點的一端與屏蔽罩鉸接；散熱風(fēng)扇屏蔽罩底面所在平面與介質(zhì)窗所在平面相交；散熱風(fēng)扇屏蔽罩底面與介質(zhì)窗中垂線之間夾角為A，A＜90°。還包括安裝孔、安裝板、調(diào)節(jié)螺釘、調(diào)節(jié)螺母，安裝板設(shè)于散熱風(fēng)扇屏蔽罩上；調(diào)節(jié)螺釘?shù)倪h(yuǎn)離螺帽的一端向下依次穿過安裝孔、安裝板；調(diào)節(jié)螺母安裝在調(diào)節(jié)螺釘?shù)倪h(yuǎn)離螺帽的一端，調(diào)節(jié)螺母配合在安裝板的背離螺帽的一側(cè)。本實用新型控制陶瓷介質(zhì)窗中心和邊緣區(qū)域溫度的均一性。