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    • 華力

    上海華力集成電路制造有限公司

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    序號(hào) 專利名稱 專利類型 申請(qǐng)?zhí)?/th> 公開(kāi)（公告）號(hào) 公布日期
    1 柵極電介質(zhì)層制備方法 發(fā)明專利 CN202110438906.1 CN113299548A 2021-08-24
    2 數(shù)據(jù)可視化制造生產(chǎn)監(jiān)控報(bào)表系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN202110599253.5 CN113283223A 2021-08-20
    3 一種用于微松倒片機(jī)的超溫報(bào)警裝置 發(fā)明專利 CN202110508773.0 CN113252193A 2021-08-13
    4 化學(xué)機(jī)械研磨的控制方法、設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì) 發(fā)明專利 CN202110526806.4 CN113246012A 2021-08-13
    5 機(jī)械手臂 實(shí)用新型 CN202022913314.4 CN213936147U 2021-08-10
    6 加液裝置 實(shí)用新型 CN202022799211.X CN213933770U 2021-08-10
    7 超聲波清洗漕結(jié)構(gòu) 實(shí)用新型 CN202021823849.6 CN213915194U 2021-08-10
    8 避免晶圓邊緣非完整曝光單元表面薄膜剝離的方法 發(fā)明專利 CN201910862489.6 CN110634729B 2021-08-10
    9 光學(xué)鄰近效應(yīng)修正方法及其修正系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201910788194.9 CN110456617B 2021-08-10
    10 半導(dǎo)體器件的制備方法 發(fā)明專利 CN201910643646.4 CN110289243B 2021-08-10

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