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專(zhuān)利信息10
| 序號(hào) | 專(zhuān)利名稱(chēng) | 專(zhuān)利類(lèi)型 | 申請(qǐng)?zhí)?/th> | 公開(kāi)(公告)號(hào) | 公布日期 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 一種具有雙工位旋轉(zhuǎn)載片的光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202121016583.9 | CN215297945U | 2021-12-24 |
| 2 | 一種半導(dǎo)體生產(chǎn)制造用光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202121008010.1 | CN215297944U | 2021-12-24 |
| 3 | 一種卷對(duì)面自動(dòng)式納米壓印設(shè)備 | 實(shí)用新型 | CN202121016569.9 | CN215297937U | 2021-12-24 |
| 4 | 一種納米壓印光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202121016567.X | CN215297936U | 2021-12-24 |
| 5 | 一種半自動(dòng)式納米壓印設(shè)備 | 實(shí)用新型 | CN202121008009.9 | CN215181395U | 2021-12-14 |
| 6 | 一種校正壓印光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202120487858.0 | CN215181394U | 2021-12-14 |
| 7 | 一種納米壓印機(jī)基片定位裝置 | 實(shí)用新型 | CN202121016555.7 | CN214896195U | 2021-11-26 |
| 8 | 一種步進(jìn)式模板拼版壓印用光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202121007695.8 | CN214896194U | 2021-11-26 |
| 9 | 一種改善光照均勻性的光刻機(jī) | 實(shí)用新型 | CN202121007699.6 | CN214846231U | 2021-11-23 |
| 10 | 桌面壓印機(jī) | 外觀專(zhuān)利 | CN202130323541.9 | CN306886082S | 2021-10-19 |
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