一種校正壓印光刻機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120487858.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215181394U 公開（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN215181394U 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常熟埃眸科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳疆
地址 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號(hào)810室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種校正壓印光刻機(jī)，屬于光刻機(jī)領(lǐng)域，包括安裝架、工作臺(tái)、曝光室、模板、置片臺(tái)和校正裝置，安裝架設(shè)置在工作臺(tái)上，曝光室可升降設(shè)置在安裝架上，在曝光室的下端設(shè)置有壓印頭，模板設(shè)置在壓印頭上，校正裝置可升降設(shè)置在曝光室的一端，校正裝置包括校正架和校正桿，校正桿可滑動(dòng)設(shè)置在校正架內(nèi)，置片臺(tái)可滑動(dòng)設(shè)置在工作臺(tái)上，置片臺(tái)與校正桿和模板相配合，在置片臺(tái)的上臺(tái)體設(shè)有校正槽，校正桿和校正槽相配合。本實(shí)用新型的有益效果是能夠使晶圓正對(duì)模板，避免產(chǎn)生偏移，且置片臺(tái)可根據(jù)不同晶圓的直徑進(jìn)行調(diào)節(jié)固定。