一種具有雙工位旋轉(zhuǎn)載片的光刻機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121016583.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215297945U | 公開（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215297945U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | G03F7/20（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I;G02B25/00（2006.01）I;F21V33/00（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 常熟埃眸科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津市科航尚博專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳疆 |
| 地址 | 215505江蘇省蘇州市常熟高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)東南大道1號(hào)810室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種具有雙工位旋轉(zhuǎn)載片的光刻機(jī)，包括光刻機(jī)本體、半圓形盒蓋和放置槽，所述光刻機(jī)本體一側(cè)通過螺栓固定有半圓形盒體，所述半圓形盒體內(nèi)部頂部通過安裝架安裝有照明燈，所述光刻機(jī)本體內(nèi)部通過螺栓固定有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)頂部通過插銷固定有結(jié)構(gòu)塊，所述結(jié)構(gòu)塊兩側(cè)焊接有連接板，所述連接板一端焊接有運(yùn)動(dòng)臺(tái)。本實(shí)用新型采用雙工位設(shè)計(jì)，可以提高光刻機(jī)的工作效率，同時(shí)方便人員觀察壓印后的晶圓。 |
