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    江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司

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    1 一種抗粘附RF MEMS開(kāi)關(guān) 發(fā)明專利 CN201610959725.2 CN106602183B 2020-03-10
    2 MEMS開(kāi)關(guān)的自吸合功率測(cè)試系統(tǒng)及方法 發(fā)明專利 CN201711022974.X CN107782476B 2019-11-22
    3 MEMS開(kāi)關(guān)的自吸合功率測(cè)試系統(tǒng)及方法 發(fā)明專利 CN201711022974.X CN107782476A 2018-03-09
    4 MEMS繼電器、懸臂梁開(kāi)關(guān)及其形成方法 發(fā)明專利 CN201410151001.6 CN103943420B 2017-06-23
    5 一種抗粘附RF MEMS開(kāi)關(guān) 發(fā)明專利 CN201610959725.2 CN106602183A 2017-04-26
    6 耐高溫?zé)o線MEMS溫度傳感系統(tǒng) 發(fā)明專利 CN201410426020.5 CN104198060B 2017-01-18
    7 具有原子蒸氣腔室的MEMS器件及其形成方法 發(fā)明專利 CN201410400532.4 CN104229719B 2016-08-24
    8 一種基于金屬電極的納米線陣列的生長(zhǎng)方法 發(fā)明專利 CN201510194994.X CN104909336B 2016-07-13
    9 一種基于金屬電極的納米線陣列的生長(zhǎng)方法 發(fā)明專利 CN201510194994.X CN104909336A 2015-09-16
    10 一種MEMS原子蒸氣腔室的制備方法及原子蒸氣腔室 發(fā)明專利 CN201110164720.8 CN102259825B 2015-04-08

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