一種抗粘附RF MEMS開關(guān)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610959725.2 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN106602183B 公開（公告）日 2020-03-10
申請公布號(hào) CN106602183B 申請公布日 2020-03-10
分類號(hào) H01P1/10;B81C1/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙嘉昊;李沐華;尤政 申請（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 清華大學(xué)
地址 100084 北京市海淀區(qū)清華園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抗粘附RF MEMS開關(guān)，包括共面波導(dǎo)、錨區(qū)、扭轉(zhuǎn)梁、第一驅(qū)動(dòng)電極、第二驅(qū)動(dòng)電極、第一抗粘附電極、第二抗粘附電極，所述錨區(qū)、扭轉(zhuǎn)梁、第一驅(qū)動(dòng)電極、第二驅(qū)動(dòng)電極、第一抗粘附電極和第二抗粘附電極均設(shè)置在所述共面波導(dǎo)上，所述第一驅(qū)動(dòng)電極和所述第一抗粘附電極均與所述扭轉(zhuǎn)梁連接，所述第一驅(qū)動(dòng)電極、所述扭轉(zhuǎn)梁和所述第一抗粘附電極組成蹺蹺板結(jié)構(gòu)。本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：驅(qū)動(dòng)電極之間抗粘附，且結(jié)構(gòu)簡單成本低。