耐高溫?zé)o線MEMS溫度傳感系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410426020.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104198060B 公開(kāi)（公告）日 2017-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN104198060B 申請(qǐng)公布日 2017-01-18
分類號(hào) G01K1/02(2006.01)I;G01K7/32(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 尤政;王偉忠;阮勇;陳碩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張大威
地址 100084 北京市海淀區(qū)100084-82信箱
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種耐高溫?zé)o線MEMS溫度傳感系統(tǒng)，包括：無(wú)線問(wèn)詢單元，用于發(fā)送/接收電磁波信號(hào)，測(cè)量、存儲(chǔ)和處理溫度數(shù)據(jù)，并將溫度數(shù)據(jù)作為最終傳感信號(hào)；聲表面波諧振裝置，用于接收來(lái)自所述無(wú)線問(wèn)詢單元的電磁波信號(hào)，并將電磁波信號(hào)轉(zhuǎn)換為聲表面波后，再次將聲表面波轉(zhuǎn)換為新的電磁波信號(hào)，以及將新的電磁波信號(hào)反饋給無(wú)線問(wèn)詢單元；顯示裝置，用于接收并顯示來(lái)自無(wú)線問(wèn)詢單元的溫度測(cè)量結(jié)果。本系統(tǒng)具有無(wú)源、無(wú)線、耐高溫、體積小、能夠?qū)崟r(shí)測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)。